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一种AFM探针相同刻划方向机械加工复杂纳米结构的方法

摘要

本发明公开了1、一种AFM探针相同刻划方向机械加工复杂纳米结构的方法,其特征在于所述方法包括如下步骤:一、被加工样品固定在手动二维调整台的上部,对精密主轴进行调心,并确定AFM探针与精密主轴回转中心的相对位置关系;二、确定AFM探针的刻划方向,对AFM针尖施加加工载荷,移动二维高精度定位平台进行刻划图案的第一条线;三、将施加到AFM探针上的载荷设置为零,旋转精密主轴配合移动二维高精度定位平台使得第一条线的终点与针尖位置重合,并且沿着相同方向刻划时第二条线与第一条线的角度偏差与所需加工结构图案一致,根据第二条线的长度进行刻划;该方法获得了加工结构深度、加工质量一致性好的优势。

著录项

  • 公开/公告号CN104140076B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2015-12-02

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 哈尔滨工业大学;

    申请/专利号CN201410385534.0

  • 申请日2014-08-07

  • 分类号B81C1/00(20060101);

  • 代理机构

  • 代理人

  • 地址 150000 黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街92号

  • 入库时间 2022-08-23 09:32:19

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2015-12-02

    授权

    授权

  • 2014-12-10

    实质审查的生效 IPC(主分类):B81C1/00 申请日:20140807

    实质审查的生效

  • 2014-11-12

    公开

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