利用AFM探针机械刻划方法加工微纳米结构

闫永达; 孙涛; 董申

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利用AFM探针机械刻划方法加工微纳米结构

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为了探索在纳米尺度加工微纳米结构,MEMS/NEMS器件的新的加工方法,采用基于AFM改造的微加工系统,研究了探针机械刻划机理,分析了工作台的定位精度,AFM的工作模式,探针形状等因素的影响.以复杂字体"哈工大"为例说明了微纳米结构轮廓坐标的获得,并加工了实例.同时还给出了齿轮形状,各种复杂二维结构的加工实例.结果表明采用AFM探针机械刻划技术可以应用在微纳米尺度结构的加工领域.

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来源
《传感技术学报》|2006年第5期|1451-1454|共4页
作者
闫永达; 孙涛; 董申;
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作者单位

哈尔滨工业大学机电学院,哈尔滨,150001;

哈尔滨工业大学机电学院,哈尔滨,150001;

哈尔滨工业大学机电学院,哈尔滨,150001;

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正文语种 chi
中图分类金属切削加工及机床;
关键词
AFM; 探针; 机械刻划; 微纳米加工;

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