ナノシートのAFMプロtブによる機械的微細除去加エ（第2報）: 高精度溝加工機構と最適加工条件の検討

摘要

現在，微細加工技術として走査型ブロープ顕微鏡（SPM）装置rnを用いたnmスケールの機械的微細除去加工が注目されている．rn本研究では，バイレイヤ厚さ2nm単位で扱うことが可能なシrnート状構造を有する層状化合物に着目し，ナノスケールの高精rn度溝加工を目指した，原子間力顕微鏡（AFM）のプロープを用rnいた除去加工を行っている．前報ではナノシートに対する機械rn的除去加工時の加工特性として，2nmオーダで深さ方向への加工rn制御が可能であることや，nmオーダの加工では表面での結晶異方rn性が顕著に表れることを報告した．