公开/公告号CN103299409B
专利类型发明专利
公开/公告日2015-11-25
原文格式PDF
申请/专利权人 株式会社村田制作所;
申请/专利号CN201280004123.1
发明设计人 中村琢也;
申请日2012-01-17
分类号
代理机构中科专利商标代理有限责任公司;
代理人张宝荣
地址 日本京都府
入库时间 2022-08-23 09:31:34
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2015-11-25
授权
授权
2013-10-16
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/60 申请日:20120117
实质审查的生效
2013-09-11
公开
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