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半导体工厂自动化系统及传送半导体晶片的方法

摘要

半导体工厂自动化系统及传送半导体晶片的方法,该方法包括:在工艺设备中处理容纳在半导体晶片盒中的一批半导体晶片;当工艺设备处理完这批晶片时,将盒传送请求由工艺设备发送到单元管理服务器;响应于盒传送请求产生传送指令;以及如果晶片盒通过AGV由工艺设备传送到储料器,则通过将传送指令同时发送到AGV和储料器同时启动AGV和储料器。该方法可减少传送半导体晶片的时间。

著录项

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2014-07-09

    未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G06F 9/00 授权公告日:20050406 终止日期:20130520 申请日:20000520

    专利权的终止

  • 2005-04-06

    授权

    授权

  • 2002-07-10

    实质审查的生效

    实质审查的生效

  • 2001-01-03

    公开

    公开

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