半导体工厂自动化系统及传送半导体晶片的方法

摘要

半导体工厂自动化系统及传送半导体晶片的方法，该方法包括：在工艺设备中处理容纳在半导体晶片盒中的一批半导体晶片；当工艺设备处理完这批晶片时，将盒传送请求由工艺设备发送到单元管理服务器；响应于盒传送请求产生传送指令；以及如果晶片盒通过AGV由工艺设备传送到储料器，则通过将传送指令同时发送到AGV和储料器同时启动AGV和储料器。该方法可减少传送半导体晶片的时间。