法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2014-07-09
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G06F 9/00 授权公告日:20050406 终止日期:20130520 申请日:20000520
专利权的终止
2005-04-06
授权
授权
2002-07-10
实质审查的生效
实质审查的生效
2001-01-03
公开
公开
机译: 半导体工厂自动化系统和用于以全自动或半自动模式处理一批半导体晶片的方法
机译: 半导体工厂自动化系统和在全自动模式或半自动化模式下处理大量半导体晶片的方法
机译: 半导体工厂自动化系统和用于处理至少一个半导体晶片盒的方法