在用X射线荧光测量薄层厚度中设定被测对象位置的方法

摘要

在用X射线荧光测量薄层厚度中设定被测对象位置的方法，其中光学记录装置的光束投射到X射线中且记录下被测对象的表面作为含多个象点的图象输出，该表面和准直仪间的距离按绝对量改变，且在至少一个测量平面上的亮度变化于该距离的至少一次改变期间被记录；图象中各象点亮度差异的最大值在该距离的至少一次改变之后被记录，而且准直仪和该表面间的距离被设定到所确定的亮度差异为最大值的位置。