用X射线荧光方法测定薄层、镀层和涂层厚度

摘要

本文提出用特征Ｘ射线的发射和吸收来测定薄层或表面涂层的厚度。从理论上解决了最佳能量的选择问题，使薄层厚度测定的检出下限大幅度优化。并通过实践证明了方法的可靠性和实用性。