用X射线荧光方法测定薄层样品,镀层和涂层的厚度

摘要

该文提出用特征X射线的发射(表层特征谱线照射量率法)或吸收(底层特征谱线吸收法)来测定薄层或涂层的厚度。并根据大量的实验数据和理论分析,确立了正确选择工作条件及确定方法适用范围的依据。实践证明了方法的可靠性和实用性。