Schichtdickenmessung dünner Gold- und Palladiumschichten auf Leiterplatten mit R?ntgenfluoreszenz

摘要

Die Messung der Schichtdicken von Gold, eventuell auch Palladium, und Nickel ist eine wichtige Aufgabe der Qualit?tskontrolle bei der Herstellung von Leiterplatten [1]. Meist sind enge Toleranzgrenzen vorgegeben, um einerseits volle Funktionsf?higkeit zu gew?hrleisten, aber auch um andererseits nicht zu dicke Schichten aufzubringen und somit teures Ausgangsmaterial einzusparen.