晶棒表面纳米化制程及其晶圆制造方法

摘要

一种晶棒表面纳米化制程，系在晶棒进行切片步骤之前，先针对晶棒之至少一表面进行一表面处理步骤，以于该表面形成一具有纳米结构之微结构层；所述之具有纳米结构之微结构层可强化晶棒表面的强度，以降低切片时的碎边率。