通过采用分割层悬臂沉积方案来制造基于MEMS的悬臂式开关

摘要

这里所讨论的实施方式一般来讲公开了可用于克服在用于薄膜MEMS悬臂式开关的耐火材料中形成的梯度应力的新颖替代方法。使用这里所述的“分割层”悬臂制造方法使得能够制造薄膜MEMS悬臂式开关，在保持最终制造的悬臂式开关的着落部分的机械刚性的同时，获得低操作电压设备。