制造悬臂式探针的方法和使用该悬臂式探针制造探针卡的方法

摘要

本发明公开一种制造悬臂式探针的方法。根据该方法，在基底的尖部和伪尖部区域中分别形成凹槽之后，通过填充尖部和伪尖部区域的凹槽形成尖部和伪尖部。形成覆盖包括伪尖部的伪尖部区域的消耗性层。形成与尖部连接并在包括消耗性层的伪尖部上延伸的梁部。所述方法包括选择性地蚀刻尖部的基底并使尖部浮在基底上的步骤。因此，可以最小化在制造探针卡时对尖部的物理和化学损伤，从而提供稳定性，并且尖部的缺陷更小。