MEMS悬臂式开关的失效分析

徐欣; 郭方敏; 葛羽屏; 李成诗; 于绍欣; 朱荣锦; 赖宗声; 朱自强; 王跃林; 陆卫

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介绍了一种表面微机械系统开关,悬臂材料为Au/SiOxNy/Au铬金作为电欧姆接触.用静电激励(激励电压为13 V)方式,测试其隔离度.获得结果为微机械开关在1～40 GHz的范围内隔离度可高达35 dB.我们采用对开关施加激励方波脉冲的方法测试寿命.结果寿命接近105,应用ANSYS对几种不同的MEMS射频接触悬臂开关模型进行了力电耦合分析和失效机理.

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来源
《传感技术学报》|2004年第3期|492-496|共5页
作者
徐欣; 郭方敏; 葛羽屏; 李成诗; 于绍欣; 朱荣锦; 赖宗声; 朱自强; 王跃林; 陆卫;
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作者单位

华东师范大学信息科学和技术学院,上海,200062;

华东师范大学信息科学和技术学院,上海,200062;

中国科学院上海微系统与信息技术研究所,传感技术国家重点开放实验室,上海,200050;

华东师范大学信息科学和技术学院,上海,200062;

华东师范大学信息科学和技术学院,上海,200062;

华东师范大学信息科学和技术学院,上海,200062;

华东师范大学信息科学和技术学院,上海,200062;

华东师范大学信息科学和技术学院,上海,200062;

华东师范大学信息科学和技术学院,上海,200062;

中国科学院上海微系统与信息技术研究所,传感技术国家重点开放实验室,上海,200050;

中国科学院上海技术物理所,红外物理国家重点实验室,上海,200083;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类制造工艺;
关键词
寿命; 悬臂接触式开关; 驱动电压; 失效; ANSYS;

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