【24h】

Wavy Cantilever RF-MEMS Switch based on Bidirectional Control of Intrinsic Stress

机译:基于固有应力双向控制的波浪悬臂式RF-MEMS开关

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摘要

This work reports on the design and modelling of wavy cantilever type series MEMS switches for RF applications. We demonstrate the self-assembly based on bi-directional control of intrinsic stresses in cantilever type MEMS switches to reshape the conventi
机译:这项工作报告了用于射频应用的波浪形悬臂式系列MEMS开关的设计和建模。我们演示了基于双向控制的固有应力在悬臂式MEMS开关中的自组装,以重塑常规结构。

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