【24h】

Wavy Cantilever RF-MEMS Switch based on Bidirectional Control of Intrinsic Stress

机译:基于内在应力的双向控制的波浪悬臂RF-MEMS开关

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摘要

This work reports on the design and modelling of wavy cantilever type series MEMS switches for RF applications. We demonstrate the self-assembly based on bi-directional control of intrinsic stresses in cantilever type MEMS switches to reshape the conventi
机译:这项工作报告了波浪悬臂式系列MEMS开关的设计和建模RF应用。 我们证明了基于悬臂式内部应力的双向控制的自组装,MEMS开关以重塑廊伦蒂

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