ZnO-SnO₂-In₂O₃类氧化物烧结体及非晶质透明导电膜

摘要

一种氧化物烧结体的制造方法，其包括：(a)将含有Zn、Sn及In的原料化合物粉末混合制备混合物的工序，(b)将上述混合物成形，制备成形体的工序，(c)将上述成形体在1000℃以上且不足1300℃的温度中烧结0小时以上的工序，及(d)将上述烧结的成形体进一步在1300℃以上且不足1500℃的温度中烧结2小时以上的工序。