用于硅通孔的ESD/天线二极管

摘要

概括地说，在围绕TSV的禁止区内至少部分地形成天线二极管，并且通过金属1层导体将其连接到所述TSV，同时将所述TSV连接到放置在所述禁止区外的一个或多个晶体管的扩散区或栅极多晶硅。