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一种针尖增强拉曼测量用镀膜针尖的制备方法

摘要

本发明公开了一种针尖增强拉曼测量用新型镀膜针尖的制备方法。本发明包括如下步骤:步骤(1)利用聚焦离子束技术,在硅针尖头部加工出圆形的锥孔;步骤(2)银颗粒在针尖上的圆形锥孔内外形核并长大;步骤(3)将针尖固定在新型针尖夹具上;步骤(4)将新型针尖夹具放置在蒸发源正上方,控制蒸发源的蒸发速度和新型针尖夹具的转速,蒸发速度控制在小于等于0.1nm/秒钟,这样每分钟内生长6nm以内,新型针尖夹具的转速控制在30~60转/分钟,太慢的转速不利用形核生长,太快的转速对设备损害很大。本发明制备的针尖头部晶粒形状稳定,拉曼增强系数能达到500以上,增强效果明显,多个针尖共同测试的结果表明,增强系数非常稳定。

著录项

  • 公开/公告号CN103276355B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2015-04-08

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 杭州电子科技大学;

    申请/专利号CN201310188959.8

  • 发明设计人 苏伟涛;李领伟;霍德璇;

    申请日2013-05-20

  • 分类号

  • 代理机构杭州求是专利事务所有限公司;

  • 代理人杜军

  • 地址 310018 浙江省杭州市下沙高教园区2号大街

  • 入库时间 2022-08-23 09:24:50

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2015-04-08

    授权

    授权

  • 2013-10-09

    实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/02 申请日:20130520

    实质审查的生效

  • 2013-09-04

    公开

    公开

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