法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2015-04-22
授权
授权
2014-03-19
实质审查的生效 IPC(主分类):G01L 1/10 申请日:20130712
实质审查的生效
2014-02-19
公开
公开
机译: 高压下使用的微电子压力传感器用于潜艇和石油工业的应用是由结晶硅制成的,因此它们可以在高压下高精度地运行
机译: 高精度硅电容式压力传感器的参考元件
机译: 用于形成能够形成高精度的精细图案的含硅膜的组合物,一种包含硅的膜状基质和涂饰过程的组合物