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公开/公告号CN102800808B
专利类型发明专利
公开/公告日2014-08-20
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院上海微系统与信息技术研究所;
申请/专利号CN201210335321.8
发明设计人 宋志棠;吴良才;彭程;饶峰;朱敏;
申请日2012-09-11
分类号H01L45/00(20060101);
代理机构31219 上海光华专利事务所;
代理人许亦琳;余明伟
地址 200050 上海市长宁区长宁路865号
入库时间 2022-08-23 09:20:49
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2014-08-20
授权
2013-01-23
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 45/00 申请日:20120911
实质审查的生效
2012-11-28
公开
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