公开/公告号CN101924180A
专利类型发明专利
公开/公告日2010-12-22
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院上海微系统与信息技术研究所;
申请/专利号CN201010172922.2
申请日2010-05-13
分类号H01L45/00;C23C14/34;C23C14/06;
代理机构上海光华专利事务所;
代理人李仪萍
地址 200050 上海市长宁区长宁路865号
入库时间 2023-12-18 01:18:04
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2013-07-31
发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):H01L45/00 申请公布日:20101222 申请日:20100513
发明专利申请公布后的驳回
2011-02-02
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L45/00 申请日:20100513
实质审查的生效
2010-12-22
公开
公开
机译: 硫族化合物的溅射装置,使用其的硫族化合物的溅射方法,以及使用硫族化合物的溅射法制造相变存储器的方法
机译: 使用硫族化物化合物作为存储单元材料的相变存储器件
机译: 使用硫族化物化合物作为存储单元材料的相变存储器件