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公开/公告号CN102629552B
专利类型发明专利
公开/公告日2014-07-02
原文格式PDF
申请/专利权人 南京理工大学;
申请/专利号CN201210106604.5
发明设计人 王开鹰;董涛;方中;何勇;杨朝初;苏岩;
申请日2012-04-13
分类号
代理机构南京理工大学专利中心;
代理人朱显国
地址 210094 江苏省南京市玄武区孝陵卫200号
入库时间 2022-08-23 09:19:27
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2014-07-02
授权
2012-10-03
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/02 申请日:20120413
实质审查的生效
2012-08-08
公开
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