非制冷红外焦平面阵列BST薄膜材料的研究

摘要

选用Ba(C<,2>H<,3>O<,2>)<,2>、Sr(C<,2>H<,3>O<,2>)<,2>·1/2H<,2>O和Ti( OC<,4>H<,9>)<,4> 为原料,冰醋酸为催化剂,乙二醇乙醚为溶剂.用改进的Sol-Gel技术在Pt/Ti/SiO<,2>/Si基片上成功地制备出钙钛矿结构的BST薄膜,该薄膜是制备非致冷红外焦平面阵列的优选材料;用D/MAX/RB转靶X射线衍射仪分析了薄膜的结构;用PH4192A阻抗分析仪测试了薄膜的介电特性.