一种用于电化学免疫检测的微电极阵列芯片传感器

摘要

本发明属于传感器技术领域，具体为一种用于电化学检测的微电极阵列芯片传感器。本发明使用硅基材料进行制造，芯片集成了电化学检测的工作电极、辅助电极和参比电极，具有很好的信噪比。辅助电极和工作电极构成环盘结构，辅助电极与工作电极间的距离小，提高了电极的灵敏度。多个工作电极成阵列分布，可以用于多通道检测。本发明可以广泛用于生物医药等多领域的检测。本发明采用MEMS工艺进行制造，工艺简单，成本低。