法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2015-03-11
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01S 3/16 授权公告日:20131016 终止日期:20140109 申请日:20120109
专利权的终止
2013-10-16
授权
授权
2012-09-19
实质审查的生效 IPC(主分类):H01S 3/16 申请日:20120109
实质审查的生效
2012-07-11
公开
公开
机译: 激光装置,极紫外光产生系统,控制激光装置的方法和产生极紫外光的方法
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