極端紫外光発生用5kW平均出力固体レーザー装置

摘要

レーザー光の安定供給と制御性を考慮して、フロントエンドにはファイバー発振器とファイバー増幅器を用いている。 発振器から出た光はLMA (Large Mode Area)ファイバーにより7Wまで増幅された後、4mmΦの半導体レーザー(LD)励起Nd:YAG増幅器2台により30Wレベルまで増幅される。 その後、8台の12mmΦロッド増幅器により5kWまで増幅される。 段間にはスペーシャルフィルターを配置し、熱レンズ補償とイメージ転送を行い、ビーム品質の劣化を抑制している。