挥发性的金属β-酮亚胺盐和金属β-二亚胺盐的配合物

摘要

挥发性的金属β-酮亚胺盐和金属β-二亚胺盐的配合物本发明提供了一种金属酮亚胺盐或二亚胺盐配合物以及其制备和使用方法，其中所述配合物含有铜、银、金、钴、钌、铑、铂、钯、镍、锇或铟。在有些实施方案中，所述金属配合物可用作前体来通过例如原子层沉积或化学气相沉积条件在基体上沉积金属和含金属的膜。