法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-11-24
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/203 授权公告日:20130710 终止日期:20161007 申请日:20111007
专利权的终止
2013-07-10
授权
授权
2013-07-10
授权
授权
2012-02-08
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/203 申请日:20111007
实质审查的生效
2012-02-08
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/203 申请日:20111007
实质审查的生效
2011-12-21
公开
公开
2011-12-21
公开
公开
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