公开/公告号CN101957567B
专利类型发明专利
公开/公告日2013-05-15
原文格式PDF
申请/专利权人 ASML荷兰有限公司;
申请/专利号CN201010233634.3
发明设计人 兼子毅之;R·T·P·康姆彭;
申请日2010-07-16
分类号
代理机构中科专利商标代理有限责任公司;
代理人王波波
地址 荷兰维德霍温
入库时间 2022-08-23 09:14:20
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2013-05-15
授权
授权
2011-03-23
实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 9/00 申请日:20100716
实质审查的生效
2011-01-26
公开
公开
机译: 多头对准系统中对准头的位置校准
机译: 多头对准系统中对准头的位置校准
机译: 多头对准系统中对准头的位置校准