公开/公告号CN117928758A
专利类型发明专利
公开/公告日2024-04-26
原文格式PDF
申请/专利权人 中国电子科技集团公司第二十四研究所;
申请/专利号CN202410033131.3
发明设计人
申请日2024-01-08
分类号G01K7/01;
代理机构上海汉之律师事务所;
代理人陈强
地址 400060 重庆市南岸区南坪花园路14号
入库时间 2024-05-24 17:48:30
机译: CMOS门电路,半导体集成电路,半导体集成电路芯片,半导体器件和逻辑处理器
机译: 垂直IC,例如垂直集成CMOS电路,包括具有通孔的芯片堆叠,该通孔电连接间隔开的芯片的金属化层,并且与中间芯片绝缘
机译: 集成CMOS集成电路的生物传感器-准备。通过将传感器区域与芯片上的电路隔离,形成栅氧化物电介质层,使用多晶硅:硅层进行蚀刻等。