公开/公告号CN101418438B
专利类型发明专利
公开/公告日2013-05-01
原文格式PDF
申请/专利权人 应用材料公司;
申请/专利号CN200810171160.7
申请日2008-10-22
分类号C23C16/42(20060101);C23C16/40(20060101);C23C16/455(20060101);H01L21/318(20060101);H01L21/316(20060101);H01L21/3105(20060101);
代理机构11006 北京律诚同业知识产权代理有限公司;
代理人徐金国
地址 美国加利福尼亚州
入库时间 2022-08-23 09:14:02
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2013-05-01
授权
授权
2012-01-25
著录事项变更 IPC(主分类):C23C 16/42 变更前: 变更后: 申请日:20081022
著录事项变更
2009-06-24
实质审查的生效
实质审查的生效
2009-04-29
公开
公开
机译: 通过远程等离子体CVD从乙硅烷前体中获得高质量的氧化硅膜
机译: 通过远程等离子体CVD从乙硅烷前体中获得高质量的氧化硅膜
机译: 通过乙硅烷前体的远程等离子体CVD获得高质量的氧化硅膜