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董志武;
氧化硅涂塑膜;
机译:等离子体处理对PECVD氧化硅和氮化硅MIM电容器微结构和电性能的影响
机译:使用二氧化硅和PECVD氧氮化硅叠层N型C-Si太阳能电池硼发射器的表面钝化
机译:使用低频等离子体改善PECVD氧氮化硅膜的光学损耗特性
机译:通过原子氧等离子体生长的二氧化硅/硅(111)-(7 x 7)的原子力显微镜研究
机译:射频等离子体增强化学气相沉积(RF PECVD)反应器中样品高度对氮化硅薄膜光学性能和沉积速率的影响
机译:用四乙氧基硅烷/氧气/氩/氦气氧化硅等离子体增强化学气相沉积(PECVD)工艺的计算研究
机译:pECVD沉积二氧化硅的双温技术
机译:等离子体增强化学气相沉积(PECVD)氮化硅阻挡层,用于高密度等离子体化学气相沉积(HDP-CVD)介电层
机译:用于高效和经济性等离子体增强原子层沉积(PEALD)和等离子体增强化学气相沉积(PECVD)的混合设计技术
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