Arizona State University.;
机译:远程等离子体增强化学气相沉积法沉积低温二氧化硅膜的生长机理
机译:电感耦合等离子体增强化学气相沉积法制备氟化氮化硅膜的组成,氧化和光学性质
机译:通过远程等离子体增强化学气相沉积制备的氮化硅膜中嵌入的硅纳米团簇的可见光致发光
机译:氧化锆/氧化硅合金的远程等离子体增强金属有机化学气相沉积,(ZrO_2)_x-(SiO_2)_(1-x)(x <= 0.5),用于高级高k栅极电介质的薄膜
机译:通过远程等离子体增强化学气相沉积沉积非晶硅和硅基电介质:在制造TFT和MOSFET中的应用
机译:射频等离子体增强化学气相沉积(RF PECVD)反应器中样品高度对氮化硅薄膜光学性能和沉积速率的影响
机译:二氧化硅的等离子体增强化学气相沉积:通过等离子体表征优化介电膜