一种基于基板保压的液压式保压工装及保压系统

摘要

本发明公开了一种基于基板保压的液压式保压工装及及保压系统，液压压合模组的液压组件对位于下方的压感组件进行施压，位于压感组件下表面设置有向下突出的压头，通过压力传感器感应液压组件下压时的压力并反馈给控制中心，通过压感组件的自加热实现对位于下方的压头同步升温；顶升模块的伺服电机通过丝杆组件连接在顶升面板上，通过丝杆组件在上下方向的驱动实现对顶升平台的顶升和下降，顶升面板从流水带机构所在的载台上将阵列分布的贴盖基板顶升抬起。本装置采用的液压组件组件，能够满足绝大多数基板在大压力压合保压的需要，并且保压的压合精度较高，提高并确保产品质量降低废品率和运营成本，提高工厂生产效率。