公开/公告号CN115261879A
专利类型发明专利
公开/公告日2022-11-01
原文格式PDF
申请/专利权人 南通群安电子材料有限公司;
申请/专利号CN202210781993.5
发明设计人 陈敬伦;
申请日2022-07-05
分类号C23G5/036;C23G5/032;C23G5/024;C23G5/028;H05K3/26;
代理机构
代理人
地址 226001 江苏省南通市开发区通盛南路7号
入库时间 2023-06-19 17:24:03
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-11-01
公开
发明专利申请公布
机译: 制造用于对抗蚀剂膜进行构图的有机处理液的方法,容纳用于对抗蚀剂膜进行构图的有机处理液的容纳容器,使用该有机处理液对抗蚀剂膜进行构图的有机处理液的存储方法,图案形成方法和电子器件的制造方法
机译: 用于制作抗蚀膜的有机处理液,用于制作抗蚀膜的有机处理液的方法,用于制作抗蚀膜的有机处理液的储存容器,使用其的图案形成方法以及电子制造方法
机译: 用于将抗蚀剂膜图案化的有机处理液,用于将抗蚀剂膜图案化的有机处理液的制造方法,用于将抗蚀剂膜图案化的有机处理液的容器,使用它们的图案形成方法以及电子设备的制造方法