具有背侧引脚孔释放和重新密封的微机电系统(MEMS)器件

摘要

一种器件包括具有第一和第二层(111、113)的衬底(110)以及在第一和第二层(111、113)之间的绝缘体层(112)。微机电系统(MEMS)结构(120)设置在第二层(113)的一部分(117)上。沟槽(130)形成在第二层(113)中并且围绕第二层(113)的该部分(117)的至少一部分外围。底切部(150)形成在绝缘体层(112)中并且与第二层(113)的该部分(117)相邻。底切部(150)将第二层(113)的该部分(117)与第一层(111)分开。第一和第二引脚孔(140)从绝缘体层的平面并在第一层(111)中延伸。第一和第二引脚孔(140)与底切部(150)和沟槽(130)流体连通。