公开/公告号CN114657528A
专利类型发明专利
公开/公告日2022-06-24
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申请/专利权人 江苏长电科技股份有限公司;
申请/专利号CN202011524230.X
发明设计人 邢发军;
申请日2020-12-22
分类号C23C14/50;C23C14/35;C23C14/04;H01L23/552;
代理机构苏州威世朋知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人沈晓敏
地址 214430 江苏省无锡市江阴市江阴高新区长山路78号
入库时间 2023-06-19 15:46:15
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-06-24
公开
发明专利申请公布