公开/公告号CN111477606B
专利类型发明专利
公开/公告日2022-03-29
原文格式PDF
申请/专利权人 中国电子科技集团公司第二十九研究所;
申请/专利号CN202010341485.6
申请日2020-04-27
分类号H01L23/498(20060101);H01L23/66(20060101);H01L23/60(20060101);H01L21/48(20060101);H01L21/60(20060101);
代理机构51214 成都九鼎天元知识产权代理有限公司;
代理人李想
地址 610036 四川省成都市金牛区营康西路496号
入库时间 2022-08-23 13:21:17