适用于晶圆检测的晶圆夹持机构及翻旋转系统

摘要

本发明公开了适用于晶圆检测的晶圆夹持机构及翻旋转系统，其晶圆夹持机构包括夹座、形成夹持区的多个夹头、以及驱动器，夹座呈环状，且环内壁形成环形检测腔，晶圆夹持机构还包括第一环体和第二环体，其中第一环体和第二环体相对转动设置；多个夹头绕着第一环体周向间隔分布，且每个夹头均沿着环形检测腔的径向弹性运动地设置在第一环体上，第二环体自外轮廓抵触在每个夹头上。本发明通过夹头的弹性夹持，降低晶圆夹持破损率，同时在保持晶圆一直处于夹持状态下，通过晶圆自转且夹头与晶圆接触点随着夹头同步夹持和松开运动换位，从而在晶圆一次装夹下，能够全面实施晶圆检测。