离子注入机静电夹持晶圆的温度仿真研究

摘要

介绍了离子注入机的结构原理、常用注入机的类型及其应用,以及夹持并冷却晶圆的关键部件——静电吸盘.构建了离子注入时晶圆的热仿真模型,对晶圆表面的温度分布进行了数值分析计算.