SONOS器件的制造方法和SONOS器件

摘要

本发明提供一种SONOS器件的制造方法和SONOS器件，提供衬底，衬底上形成有依次彼此相邻的cell区、第一至第三器件区；在衬底上形成第二栅氧化层，第二栅氧化层包括由下而上堆叠的底部氧化层、氮化层和顶部氧化层；刻蚀去除cell区的第二栅氧化层，在衬底上淀积覆盖cell区和第二栅氧化层的第四栅氧化层；刻蚀去除第一器件区的第二栅氧化层和第四栅氧化层，之后形成覆盖第一器件区的第一栅氧化层；刻蚀去除第二器件区和第三器件区的顶部氧化层和氮化层；刻蚀去除第三器件区上的底部氧化层，之后在第三器件区上形成第三栅氧化层。本发明的SONOS器件中，在每个器件区的表面分别形成有不同的栅氧化层，实现了不同器件栅氧化层的共存，提升了器件的速度和可靠性。