运行脉冲式电弧蒸发源的方法以及具有脉冲式电弧蒸发源的真空处理设备

摘要

本发明涉及一种用于对工件(3)进行表面处理的真空处理设备，具有一个电弧蒸发源(5)，所述电弧蒸发源包含与一个DC电源(13)连接的第一电极(5`)，还具有与所述电弧蒸发源(5)分开安放的第二电极(3、18、20)。这两个电极(5`、3、18、20)都与一个脉冲电源(16)连接地运行。