一种集成压力传感器和湿度传感器的方法

摘要

本发明提供一种集成压力传感器和湿度传感器的方法，该方法是在SOI晶圆衬底上生长一层金属薄膜，作图案化形成类多角星型压力敏感膜，该压力敏感膜的内角处应变最大，外角中部与敏感膜中心之间的区域应变最小，接着沉积一层SiO2作为温度补偿层,再沉积一层导电金属Al，用于连接金属底电极和叉指换能器，并在这层导电金属Al作图形化作出测湿用的湿敏叉指结构，湿敏叉指结构布置于外角与敏感膜中心之间的区域。以解决目前将压力传感器和湿度传感器传感器如何有效地集成在同一芯片上，并且避免两种传感器之间会互相影响互相干扰仍是一大难题，体积结构方面也不够小巧的问题。属于传感器技术领域。