一种新兴集成温湿度传感器的研制

摘要

本文介绍了对一种新型集成温湿传感器的研制，该传感器是由 硅PN结温敏二极管和聚酰亚胺湿敏电容组成的，其结构与集成电路 工艺相客，使用聚酰亚胺薄膜作为湿敏电容介质材料，通过这种薄 膜材料介电常数的变化而产生电容变化来检测环境的相对湿度，并 ’以正向导通的PN结结电压变视为测温参数。 通过对该传感器的温敏、湿敏工作原理进行研究，从理论上总 结PN结面积、掺杂浓度、PN结工作电流等因素与PN结温敏特性的关 系，以及聚酰亚胺膜厚与上电极图形面积、结构尺寸与湿敏特性的 关系。通过对聚酰亚胺薄膜的亚胺化过程的研究，分析亚胺化条件 与聚酰亚胺性能的关系。利用扫描电镜（SEM）分析聚酰亚胺结...