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摘要
第一章 绪论
1.1 研究背景与意义
1.2 温度与湿度的表征
1.2.1 温度的定义
1.2.2 湿度的定义
1.2.3 传感器的主要性能参数
1.3 国内外研究现状
1.4 研究内容和性能指标
1.4.1 研究内容
1.4.2 性能指标
1.5 论文组织结构
第二章 MEMS温湿度传感器集成系统设计
2.1 硬件架构设计
2.2 集成系统设计
2.2.1 MEMS温湿度传感器芯片
2.2.2 PCap02处理器
2.2.3 集成系统PCB版图设计
2.2.4 集成系统封装设计
2.3 外部通信电路
2.3.1 单片机
2.3.2 电源转换模块
2.3.3 液晶显示模块
2.4 本章小结
第三章 MEMS温湿度传感器集成控制系统软件设计
3.1 PCap02汇编语言指令集
3.2 指数算法的实现
3.3 温湿度传感器标定程序设计
3.3.1 标定方法
3.3.2 标定程序设计
3.4 湿度传感器温度补偿程序设计
3.4.1 电容式湿度传感器的温度补偿公式
3.4.2 温度补偿软件设计
3.5 通信软件设计
3.5.1 单片机通信程序设计
3.5.2 IIC通信程序设计
3.6 本章小结
第四章 MEMS温湿度传感器集成系统测试
4.1 测试设备
4.1.1 一级双压湿度发生器
4.1.2 湿度阶跃装置
4.2 温度传感器性能测试
4.2.1 灵敏度
4.2.2 线性度
4.2.3 温度误差
4.3 湿度传感器性能测试
4.3.1 灵敏度
4.3.2 回滞特性
4.3.3 动态响应特性
4.3.4 湿度误差
4.3.5 温度特性
4.4 性能测试结果对比
4.5 本章小结
第五章 总结与展望
5.1 总结
5.2 工作展望
致谢
参考文献
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