一种微透镜阵列超精密加工误差评定方法与系统

摘要

本发明涉及一种微透镜阵列超精密加工精度评定方法及系统，属于微透镜阵列质量评定领域，首先白光干涉仪获取微透镜阵列图；调用库函数进行预处理；利用霍夫圆变换函数对预处理后的微透镜阵列图进行霍夫圆变换，得到每个透镜单元的中心坐标和半径值；结合微透镜阵列图的真实尺寸和像素尺寸，计算每个透镜单元的实际中心坐标和实际半径值；计算实际中心坐标与中心透镜单元的绝对坐标点之间的实际直线距离值，将实际直线距离值与直线距离设计值的差值作为位置误差；将每个透镜单元的实际半径值与透镜单元开口半径设计值的差值作为形状误差；最后再绘制出位置误差分布图和形状误差分布图，对微透镜阵列的形状误差和位置误差进行有效、准确评定。