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MANUFACTURING METHOD OF MICROLENS ARRAY AND MICROLENS ARRAY MANUFACTURING SYSTEM

机译:微透镜阵列和微透镜阵列制造系统的制造方法

摘要

Disclosed is a method of manufacturing a microlens array using a laser. The method includes: applying a laser to a substrate, which is a material, with an intensity at which a physical change of the substrate does not occur with the laser; and performing an etching process on the substrate to which the laser is applied. In the step of applying the laser, the laser may be sequentially applied from the lower surface to the upper surface of the substrate.
机译:公开了一种使用激光制造微透镜阵列的方法。该方法包括:将激光器施加到基板,其是材料,其强度在激光器中不会发生基板的物理变化;并对应用激光器的基板进行蚀刻工艺。在施加激光的步骤中,可以将激光从下表面顺序施加到基板的上表面。

著录项

  • 公开/公告号KR102265037B1

    专利类型

  • 公开/公告日2021-06-17

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人

    申请/专利号KR1020190043074

  • 申请日2019-04-12

  • 分类号G02B3;

  • 国家 KR

  • 入库时间 2022-08-24 19:49:09

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