一种针对微透镜阵列的超精密加工装置及加工方法

摘要

本发明公开了一种针对微透镜阵列的超精密加工装置及加工方法(18JCTPJC52100)，其特征在于：包括主轴、透镜阵列工件、快速伺服系统机构、刀架和金刚石刀具，所述的超精密车床上安装有所述的主轴，所述的微透镜阵列选为但不限于平面基底阵列，其单元口径形状选为六边形但不仅限于六边形，单元面形选为但不限于凹球面，刀架上安装有所述的金刚石刀具，金刚石刀具与快速伺服系统机构连接。相对于现有技术，该针对微透镜阵列的超精密加工装置避免了加工缺陷，很好地保证了加工表面面形精度，避免了加工缺陷，实现了大面积、均匀的高表面质量。