用于同时相位衬度成像和电子能量损失光谱法的系统和方法

摘要

用于同时相位衬度成像和电子能量损失光谱法的系统和方法。用于用带电粒子对样本进行成像的方法和系统包括沿着主轴将带电粒子引导朝向所述样本，和分别用第一检测器和第二检测器同时检测透射通过所述样本的所述带电粒子的第一部分和第二部分。所述第二检测器定位于所述第一检测器的下游。所述透射带电粒子中的每一个以所述透射带电粒子的方向与所述主轴之间的出射角离开所述样本。所述透射带电粒子的所述第一部分的所述出射角与所述透射带电粒子的所述第二部分的所述出射角重叠。以这种方式，可同时获得互补信息，如结构和组成信息。