氮化铝单晶衬底的表面处理方法及紫外发光二极管的制备方法

摘要

本申请提供一种氮化铝单晶衬底的表面处理方法及紫外发光二极管的制备方法，属于半导体发光器件技术领域。氮化铝单晶衬底的表面处理方法包括：在氮化铝单晶衬底的表面形成铝层；然后进行退火处理去除铝层，使得氮化铝单晶衬底的表面在去除铝层后获得铝极性面。紫外发光二极管的制备方法包括：采用如上述的表面处理方法对氮化铝单晶衬底进行表面处理；然后在铝极性面外延生长二极管外延结构，能有效改善紫外发光二极管的功率衰减问题。